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製程設備半導體氣浮平台

產品型號: 製程設備半導體氣浮平台

產品分類: 12096

廠商:

珂業機械有限公司

攤位號碼: Q018

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產品特色
氣浮層形成無摩擦支撐
透過高壓潔淨氣體在平台與支撐面之間形成極薄的氣膜(氣浮層),使平台懸浮於氣膜上,消除固體間的直接接觸,將摩擦阻力降至接近零,實現平滑且低摩擦的運動。

精密氣體壓力調控系統
利用流量閥與壓力感測器,實時監控並調節氣浮層內的氣體壓力,確保平台在不同負載與工作狀態下均能維持穩定的懸浮高度與均勻氣膜厚度,避免平台因氣壓波動而產生晃動或不穩定。

微振動抑制與剛性結構設計
採用主動或被動減震技術(如磁懸浮軸承、液體阻尼器)結合平台本體高剛性設計,有效隔絕外界振動干擾,降低振動幅度,提升平台定位精度與運動穩定性

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