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產品特色
由先進空氣軸承技術結合 PBA Systems 自製線性馬達動力，提供更平穩、更高推力的動力輸出。適合應用在要求低溫升的環境，更廣泛應用於半導體等先進工業自動化製造設備，如半導體曝光及檢測設備、晶圓缺陷檢測設備、玻璃板蝕刻應用、高速取放機台、視覺檢測設備等。
因採空氣軸承設計，無需使用潤滑裝置或潤滑油，維護與保養簡單易執行，為無塵室等需嚴格管控的製程環境的不二之選。
- 趨近於零誤差
- 運行平穩、高速度且低速度漣波
- 重複定位精度出眾：±0.1μm
---
本產品來自 PBA Systems—— 自動化精密定位平台設計製造專家。
查看官網，了解更多資訊：
https://www.pbasystems.com.sg/product/pabg1000-co-planar-xy-air-bearing-sub-micron-gantry/
因採空氣軸承設計，無需使用潤滑裝置或潤滑油，維護與保養簡單易執行，為無塵室等需嚴格管控的製程環境的不二之選。
- 趨近於零誤差
- 運行平穩、高速度且低速度漣波
- 重複定位精度出眾：±0.1μm
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本產品來自 PBA Systems—— 自動化精密定位平台設計製造專家。
查看官網，了解更多資訊：
https://www.pbasystems.com.sg/product/pabg1000-co-planar-xy-air-bearing-sub-micron-gantry/
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