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產品特色
✔ 緊湊簡約設計，馬達不外露，便於機構空間配置內置長行程式壓電馬達與光學尺。
✔ 搭配控制器做速度調整與閉迴路位置控制
✔ 標準品最高行程達 70 mm
✔ 閉迴路位置控制最高至 50 nm
✔ 開迴路控制最小進給量達 0.5 nm
✔ 充分發揮壓電馬達特性
✔ 具零背隙效果，高響應加減速，斷電煞車作用
✔ 另可選配製作更高解析度，更高行程與真空環境版本
✔ 搭配控制器做速度調整與閉迴路位置控制
✔ 標準品最高行程達 70 mm
✔ 閉迴路位置控制最高至 50 nm
✔ 開迴路控制最小進給量達 0.5 nm
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