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產品特色
利用雷射干涉儀等高精度量測設備，精確測量並補償機台的幾何誤差（如直線度、垂直度、位置誤差），即使機台本體存在微小偏差，也能透過軟體自動校正，達成高精度加工。
採用溫度補償技術，即時偵測並修正加工過程中因熱膨脹引起的尺寸變化，維持穩定的微米級精度。
精密研磨與多重限制結構設計，提升平台的剛性與抗振動能力，確保平面度與定位精度達到微米級標準。
此種微米級平面誤差控制，廣泛應用於半導體曝光機、光學檢測及高精密製造領域，為設備提供穩定且精準的基礎平台，提升產品良率與製程效率。
採用溫度補償技術，即時偵測並修正加工過程中因熱膨脹引起的尺寸變化，維持穩定的微米級精度。
精密研磨與多重限制結構設計，提升平台的剛性與抗振動能力，確保平面度與定位精度達到微米級標準。
此種微米級平面誤差控制，廣泛應用於半導體曝光機、光學檢測及高精密製造領域，為設備提供穩定且精準的基礎平台，提升產品良率與製程效率。
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