智能自動光學3D白光干涉/共軛焦量測 ​面掃描

SE-5AT​半導體系列
白光干涉儀為非接觸式3D顯微表面量測設備，採用干涉與共聚焦技術，達到奈米級之量測。
https://www.buenooptics.com/3d-c046-1691979898

白光干涉｜​線雷射投影｜AI多焦面疊加

3D白光干涉/共軛焦量測備優勢與特色
→ 多功能量測功能
​同時滿足顯微檢測與物體表面三維量測的需求，可進行粗糙度量測、膜厚量測、3D輪廓分析、微結構分析等更多奈米等級的多功能檢測。

→ 獨家演算法
透過特殊演算法，達到更高速更精準的檢測結果，性能、功能、效率與設計皆優於市場原有的3D輪廓儀。可設定定位標記、可設定量測目標並自動產報表。

→ 光學技術
多波段LED光源，有較佳多用性，雷射共聚焦波長較為固定；LED照明區域受光較為平均，且速度比雷射掃描快可避免干涉圖文與散射問題。

→ 量測應用
適用於晶圓累（矽晶圓、藍寶石、SIC、GAN等）半導體晶圓表面輪廓檢查，元件類LCD、LED、Micro lens、MEMS等微結構表面形狀參數量測。

➤ 和全豐客製UI可與原廠公用程式介面相仿，降低學習曲線，可輕易上手。

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