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本計畫針對半導體先進封裝製程亟需之線上智能化微奈米級關鍵檢測技術與精密量測平台進行研發，研究成果將運用於半導體先進封裝製程領域之微奈米級多維度關鍵尺寸量測與瑕疵檢測系統。該系統已驗證可用於Micro LED、Micro-Bump、TGV、等微米級微結構量測應用，並於台大場域與多間企業進行工業待測物量測能力驗證。
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