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產品特色
SE-5AT半導體系列
自動對焦之顯微鏡模組擷取晶圓／晶片表面影像檢測表面瑕疵與高度變化
https://www.buenooptics.com/5at2
→ 量測技術
針對半導體晶圓於製程中所產生的缺陷提供精準光學檢測分析，利用自動對焦之顯微鏡模組搭配XYZ三軸位移平台（整合光學尺）進行飛拍，擷取晶圓／晶片表面影像。
→ 獨家演算法
可依需檢出之瑕疵進行影像對比與AI影像深度學習法，降低過減（OVER KILL）及漏檢（UNDER KILL）的發生。
→ 光學技術
可自訂公差自動分選OK／NG件，針對瑕疵計算面積大小、瑕疵數量及瑕疵位置標註，亦可整合自動化，提高檢出效率。
→ 量測應用
可搭配白光共軛焦模組，進行晶圓/晶片的高度變化量測，該模組具有高精度、高速量測與不受材質影響的優勢，高度量測結果以彩色分佈圖來代表高底，影像呈現直覺化，亦可以非接觸式進行厚度量測，包含THK／TTV／WARP／BOW。
自動對焦之顯微鏡模組擷取晶圓／晶片表面影像檢測表面瑕疵與高度變化
https://www.buenooptics.com/5at2
→ 量測技術
針對半導體晶圓於製程中所產生的缺陷提供精準光學檢測分析，利用自動對焦之顯微鏡模組搭配XYZ三軸位移平台（整合光學尺）進行飛拍，擷取晶圓／晶片表面影像。
→ 獨家演算法
可依需檢出之瑕疵進行影像對比與AI影像深度學習法，降低過減（OVER KILL）及漏檢（UNDER KILL）的發生。
→ 光學技術
可自訂公差自動分選OK／NG件，針對瑕疵計算面積大小、瑕疵數量及瑕疵位置標註，亦可整合自動化，提高檢出效率。
→ 量測應用
可搭配白光共軛焦模組，進行晶圓/晶片的高度變化量測，該模組具有高精度、高速量測與不受材質影響的優勢，高度量測結果以彩色分佈圖來代表高底，影像呈現直覺化，亦可以非接觸式進行厚度量測，包含THK／TTV／WARP／BOW。
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