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產品特色
SE-5AT半導體系列
多功能晶圓量測儀，採上下高精度白光共軛焦感測器進行晶圓之厚度、翹曲度、弓度等量測
https://www.buenooptics.com/show-1276192
智能自動晶圓厚度量測設備功能優勢
→厚度監控
針對半導體晶圓研磨、減薄製程、CVD進行沈積、磊晶和長膜過程之厚度監控需求。
→精準量測
製程中所產生晶圓弓度、翹曲度及厚度均勻提供精準量測分析；利用非接觸式雙測頭感測器，搭配高精度位移平台進行全平面掃描。
→條碼載入工單
工單可以採用條碼方式提供，可依據客戶格式自動讀取條碼，自動載入量測參數進行量測。
→量測功能
可自定義量測點數，軟體內建點數路徑，包含5點、9點、37點及自定義點數，可達成多點位的量測資訊；系統亦可讀取晶圓的WAFER ID資訊。
可生成3D彩圖分析。
多功能晶圓量測儀，採上下高精度白光共軛焦感測器進行晶圓之厚度、翹曲度、弓度等量測
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智能自動晶圓厚度量測設備功能優勢
→厚度監控
針對半導體晶圓研磨、減薄製程、CVD進行沈積、磊晶和長膜過程之厚度監控需求。
→精準量測
製程中所產生晶圓弓度、翹曲度及厚度均勻提供精準量測分析；利用非接觸式雙測頭感測器，搭配高精度位移平台進行全平面掃描。
→條碼載入工單
工單可以採用條碼方式提供，可依據客戶格式自動讀取條碼，自動載入量測參數進行量測。
→量測功能
可自定義量測點數，軟體內建點數路徑，包含5點、9點、37點及自定義點數，可達成多點位的量測資訊；系統亦可讀取晶圓的WAFER ID資訊。
可生成3D彩圖分析。
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