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高速、非接觸、3D表面形貌量測
白光干涉儀主要應用：
－測量圖塊高, 細線路線高、線寬、線距
－薄膜分析量測應用
－測量次奈米表面形貌
－半導體前後段量測應用
白光干涉儀主要應用：
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