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產品特色
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超薄無線振動角度監控 , 內建SD卡可離線式記錄量測
可黏貼於晶圓或是FOUP上監控 Process 製程狀態
精密振動角度監控應用
1. 半導體機械手臂晶圓傳送穩定性監控量測。
2. 半導體 OHT 天車狀態分析監控。
3. 無人搬運車 AGV 動態長期監控監控。
4. 半導體設備內部狀態監控。
5. 面板傳送生產設備穩定性監控。
6. FOUP 傳送狀態穩定性分析監控。
7. 工業傳送裝置狀態監控。
8. 輸送帶狀況監控。
超薄無線振動角度監控 , 內建SD卡可離線式記錄量測
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