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晶圓切割後隱崩自動光學檢查機
TGV製程穿透式3D檢查機
-非破壞性高穿透深度三維成像
-可解析三維尺寸的結構資訊
-不須介質可穿透切割膜包含DAF檢測
-AI輔助的自動尺寸量測與瑕疵識別
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