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線性馬達源自于勞倫茲法則(Lorentz)，即利用電流(I)與磁場(B)的相互作用而產生推力(F)， 加上本身磁鐵排列與多動子的運用，可實現行程不受限制與單軸多動子的獨立運動，藉由搭配精密伺服回饋可輕易實現奈米定位精度的控制。
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