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產品特色
大銀全系列真空馬達：大銀基於多年來與高端半導體製造商合作，推出真空直線馬達與真空直驅馬達系列，針對真空應用提供客戶最佳的解決方案。全系列產品皆有強大的性能並可符合最嚴格的真空要求。實際應用：晶圓研磨、離心清洗、離心乾燥、PVD、CVD、奈米级晶圓檢測等
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