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產品特色
Piezo Nanostage採用瑞典PiezoMotor 壓電馬達技術，應用壓電材料變形撥腳式的原理，改變了一般壓電馬達總行程僅能在1mm內的限制，進而擴展到100mm，也可針對需求做長短的行程調整。
壓電馬達有別於一般馬達使用磁力來控制馬達位移，而採用壓電材料物理形變進行摩擦驅動，並透過壓電材料微量變形的特性，產生奈米精度的位移定位控制。
滑台位置回授系統，採用MicroE或RENISHAW光學尺系統，貼附於滑台中比一般伺服馬達系統編碼器安裝於馬達尾端，有更精確的位置回饋。
壓電馬達有別於一般馬達使用磁力來控制馬達位移，而採用壓電材料物理形變進行摩擦驅動，並透過壓電材料微量變形的特性，產生奈米精度的位移定位控制。
滑台位置回授系統，採用MicroE或RENISHAW光學尺系統，貼附於滑台中比一般伺服馬達系統編碼器安裝於馬達尾端，有更精確的位置回饋。
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