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產品特色
CHELIC MF系列氣體質量流量計/控制器
支援 EtherCAT 與 RS-485 通訊，具備 ±0.3% F.S. 的超高精度與毫秒級快速響應，
適用於半導體、精密製程與多氣體環境的流量監控。
具備國際認證、耐腐蝕結構與多機型選擇，無論是控制或量測應用，皆為智慧製造流程中的穩定首選。
支援 EtherCAT 與 RS-485 通訊，具備 ±0.3% F.S. 的超高精度與毫秒級快速響應，
適用於半導體、精密製程與多氣體環境的流量監控。
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