雷射干涉儀

Qualifire 可提供 4 英寸孔徑或同類產品中最小的 6 英寸孔徑。某些 Qualifire 版本的重量不到 50 磅（23 公斤），這使得該儀器更易於移動，尤其是在測試部件無法被帶到儀器前的情況下。

重量和間距方面的另一個優勢是內置相位測量插座 (PMR)。 這消除了移動設備時對 PMR 內部 PZT 堆疊造成損壞的可能性。其他改進還包括易於抓握的手柄和方便使用的開關。
此外，光學支腳是密封的，提供了額外的防塵保護，因為灰塵會隨著時間的推移而積聚，並增加系統中的瑕疵。 這種佈局也使維修變得更加容易。 即使更換雷射頭，也不會干擾任何光學元件。
值得信賴的 Zygo Verifire 的方方面面都經過重新設計，充分考慮了用戶體驗和對計量的信心，為您帶來全新的 Qualifire 產品系列。
Qualifire 雷射干涉儀具有許多新穎的功能。
菲佐設計是許多現代系統中常見的光學計量方法，它使用一個固定的同軸相干點光源來照亮干涉腔。 在大多數情況下，這種設計都非常有效。 雖然移相和固定照明仍是黃金標準，但 Zygo 一直在尋求改進，並通過新的飛點選項探索了動態照明的優勢。
1. 飛點: 新的同調光減少偽影技術
2. Plano Cavity 自動對焦
3. 穩定變焦
4. 智慧附件

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