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產品特色
1、解析度達 1 微米
2、相較顯微鏡提供更大的視野範圍
3、最長工作距離可達 102mm
4、放大倍率範圍：1 - 5x
5、搭配 250MP / 1.5μm 畫素尺寸之感測器，可清晰辨識 USAF 1951 Group 9, Element 2
6、適用於超高畫素、高精度 AOI 自動光學檢測系統
典型應用包含：
1)、晶圓外觀瑕疵檢測
2)、玻璃基板通孔（Via）檢測
3)、光罩（Photomask）外觀缺陷檢測
4)、Micro LED 切割品質檢查
2、相較顯微鏡提供更大的視野範圍
3、最長工作距離可達 102mm
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5、搭配 250MP / 1.5μm 畫素尺寸之感測器，可清晰辨識 USAF 1951 Group 9, Element 2
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