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產品特色
- 無線量測技術，連續記錄可達4小時。
- 內建儲存記憶體，可離線紀錄。
- 內建感測器，可量測三軸振動、傾角、溫度、濕度。
- 量測軟體可做頻譜、角度、趨勢分析。
- 外型輕薄，提供8吋與12吋兩種尺寸。
- 適合自動倉儲、AGV無人搬運車、FOUP、OHT、Wafer robot、Wafer stocker等振動與傾角檢測。
- 內建儲存記憶體，可離線紀錄。
- 內建感測器，可量測三軸振動、傾角、溫度、濕度。
- 量測軟體可做頻譜、角度、趨勢分析。
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