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產品特色
高速反應、低壓力損失、高精度的數位氣體質量流量控制器、多種功能解決流量控制問題。
各種流量領域也能達到0.3秒的高速反應。
「從全開到開始控制時」「變更設定值時」皆能做到高速反應。
變更多個氣體流量設定時，也能維持穩定的氣體流量比例。
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