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真空IR乾燥設備

產品型號: WIR

產品分類: 五金工具暨廠房設備

廠商:

偉勝乾燥工業股份有限公司

攤位號碼: L410

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產品特色
。高效能乾燥(紅外線IR)
紅外線輻射熱能快速升溫,縮短乾燥/固化時間。
紅外線三大特性,穿透、反射、吸收,特定材料固化效果佳。

。節能減碳
無需加熱整個空間,僅針對Wafer表面加熱,降低能耗。
與傳統熱風乾燥相比,能源消耗可減少 30%。

。均勻性與精準性
紅外線穿透物料內外部同步加熱,有別於熱風乾燥方式。
可根據材料特性選擇紅外線波長,以達到最佳吸收效果。

。降低氧化風險(真空環境)
真空環境中氧氣含量低,防止晶圓在高溫生產過程被氧化。
被烘烤物除泡能力優於大氣行熱風烤箱。

。控制能力 (製程彈性)
多段烘烤配方及參數,多段溫度、真空壓力控制精確。
9區獨立控制系統,確保各個晶圓溫度均勻乾燥。

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