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晶圓機器人目前市場規模約8.1億美元，預估2025年將達10.3億美元，而隨著半導體產業不斷擴張，晶圓機器人的需求與性能要求也隨之增加，本技術開發了高速且低振動控制機器人以及採用嵌入式控制系統，電控組件與機器人為一體式設計，有效提升機器人整合至EFEM中之空間利用率，並解決維修不便、電磁干擾等問題。
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