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產品特色
1. 適用各種精密量測製程精準對位，適用產業:Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割。
2. 優異速度漣波表現 0.1%
3. 奈米級直線度/平面度 0.5 ㎛/300mm
4. 採用非接觸式空氣軸承驅動移動時元件間無機械接觸,不會隨著時間推移而產生磨耗或性能下降。使用壽命無限,無潤滑油污染平台,只需氣體驅動,是潔淨室和醫療應用的理想選擇。
5. 精密幾何精度容易實現超高六個自由度(線性精度、水平直線度、垂直直線度、YawPitch、Roll)及軸與軸間之正交度。
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3. 奈米級直線度/平面度 0.5 ㎛/300mm
4. 採用非接觸式空氣軸承驅動移動時元件間無機械接觸,不會隨著時間推移而產生磨耗或性能下降。使用壽命無限,無潤滑油污染平台,只需氣體驅動,是潔淨室和醫療應用的理想選擇。
5. 精密幾何精度容易實現超高六個自由度(線性精度、水平直線度、垂直直線度、YawPitch、Roll)及軸與軸間之正交度。
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