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產品特色
SMARPROBE奈米探針系統卓越的性能
．完全編碼，分辨率為 1 nm
．主動式位置鎖定
．大掃描範圍和低熱漂移
．全 30 x 30 mm 的大面積探測
．高速 EBAC/EBIC 成像
．一體化用戶界面
．所有探針自動接觸和對準
．SEM 圖像中的“點擊”導航
．群體動作與“逐步和重複”指令
．樣品和探針的 CAD 導航
．完全編碼，分辨率為 1 nm
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