Vieworks自動對焦系統

在中高倍率 (5~10x) 搭配大靶面鏡頭進行晶圓、MircoLED 檢測的案例中，景深非常淺，因為乘載的晶圓前後左右無法始終與鏡頭保持相同高度，即使調到只差幾μm仍然會在特定位置脫焦而掃出模糊的影像。VEO Focus 是一套提供升降Z軸、鏡頭、鏡筒、雷射三角法自動對焦模組、外同軸光源四位一體，搭配 Vieworks 相機銷售的自動對焦成像解決方案，最大可支援到 M95 的超大靶面相機。

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