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量測項目
>幾何尺寸:TTV總厚度變化、LTV局部厚度變化
>晶圓翹曲:Bow翹曲度、Warp彎曲度
>邊緣輪廓:Edge Roll-off邊緣坍塌、Bevel Geometry倒角幾何
規格與特色
>波長840nm
>2軸向解析度:≤5m
>成像深度:2.5mm
>A-Scan速度20KHz/80KHz
>支援自定義量測點位
>非接觸·非破壞量測
歡迎聯繫宇瞻專業顧問進行深入瞭解
智動化光學檢測 官網簡介：https://iiot.apacer.com/tw/optical-inspection/
官網－聯絡我們：https://iiot.apacer.com/tw/about-iiot/contact/
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