光照靜電消除器

濱松（Hamamatsu）VUV Ionizer 是一款專為傳統電離器難以應用的真空（減壓）環境所開發的創新型靜電消除設備。其採用波長短於 160 nm 的高能量真空紫外光（Vacuum Ultraviolet, VUV），透過**光致電離（Photoionization）**技術，將真空環境中的殘留氣體分子與原子電離，產生高密度且均衡的正、負離子，有效中和並消除目標物表面的靜電。

相較於傳統電離器，VUV Ionizer 具備多項顯著優勢。首先，設備無需依賴氣流即可完成除電，可避免吹氣造成微粒揚塵，有助於維持高潔淨度製程環境。其次，由於採用光致電離原理，正負離子可自然維持平衡，不會產生傳統電離器常見的過沖（Overshoot）現象，避免目標物反向帶電，同時亦不產生電磁雜訊（EMI），適用於高精密電子與半導體製程。

此外，VUV Ionizer 擁有優異的環境適應能力，可於**低真空至高真空環境（最高可達 10⁻⁶ Pa）**下穩定運作，為半導體、真空鍍膜、電子元件及其他高真空製程提供高效率且可靠的靜電消除解決方案

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