XY共面氣浮平台

多軸共構於同一平面，有效減少誤差累積，搭配氣浮支撐達成超高平面度與運動精度，特別適用於晶圓檢測、平面掃描與奈米級定位系統。
(1) 奈米級定位精度：XY共面氣浮平台CAB-XY300之重覆定位精度可達±0.25μm，絕對(補償)精度可達±0.5μm，適用各種精密量測精準對位，適用產業:Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割。
(2) 無摩擦損耗：採用非接觸式空氣軸承驅動，移動時元件間無機械接觸，不會隨著時間推移而產生磨耗或性能下降。無傳統線性滑軌或接觸式結構之磨耗而產生精度下降或者壽命減短。
(3) 壽命無限：只需氣體驅動，無磨耗，所以壽命無限。
(4) 無汙染：無潤滑油污染平台，潔淨室和醫療應用的理想選擇。
(5) 共面式：XY軸皆在同一平面運作，少了堆疊誤差，一致的平面基準，提高整體平面度與精度，無上下運動，結構穩定剛性強，減少震動，且空間利用率提升。

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