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產品特色
緊湊尺寸:6.6*5.1*1.7mm
高解析度:0.4mm@20mm/s
定位速度:高達 10m/s
超高真空相容性,低至 10-11 mbar
相容於多種柵距為 20 µm 的反射式柵尺
應用於機器人系統、半導體製造技術、顯微鏡平台等領域。
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