超精密定位用壓電滑台

壓電滑台的特徵之一，就是可以獲得極高的速度響應性，而高響應性主要與滑台機構本身的共振頻率有很大的依存關係。

THK PRECISION擁有THK集團累積的先進科學製造技術及豐富資源，除了高精度規格的標準品之外，如果您對於壓電滑台的「軸向」、「角度」、「控制方式」有不同的需求條件，THK PRECISION也能依照您的規格進行客製化設計。

▍產品特點：
● 高解析度
- 高規格保證「 1 奈米」極細微的移動解析度。
- 內置回授控制用的靜電容量式位移計，能達到高信賴性的反覆定位。

● 高速響應
-輸入信號與滑台實際動作，兩者相差僅在毫秒之間。
-即使給予複雜的移動指令，也可精準的根據指令移動（應用舉例：高階晶圓膜厚檢測機）。

● 無需維護保養
- 移動的台面由彈性鉸鏈機構支撐，無接觸，故也無磨耗。經長時間使用，也不會產生精度劣化的問題。
- 由於不使用潤滑劑，因此不會有揮發物，使用時也無需維護保養。

▍前往產品資訊：https://www.kuangyi.com.tw/product/84

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