PIM IoT Hub(Fault diagnosis)

OPS & Camera & PIM
在高階半導體製程對生產環境要求日益嚴格的趨勢下，本產品針對晶圓傳送過程中所使用的 OHT（Overhead Hoist Transfer）系統，
將傳輸過程中產生的震動訊號與影像數據結合，並搭配專門開發的 OPS（OHT Position Sensor）進行毫米級的精密定位。

透過此技術，能更準確地判斷晶圓於傳送過程中可能遭遇的不可預測因素，進一步提升製程穩定性與生產品質。

---