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共交二維輪廓量測儀
主要應用於:油墨厚度量測儀/MLCC厚度測量/厚膜電路測量/銀漿厚度測量
雷射蝕刻測量/塗膠厚度測量/半導體/特種材料表面粗糙度測量等
更低成本---是傳統接觸式輪廓儀1/2到1/3價格
更小體積---是傳統接觸式輪廓儀1/4體積,方便系統集成
更小測量光斑---測量光斑2um
更高精度---10nm重複性,20nm測量精度
非接觸式測量---不會劃傷樣品表面,沒有探針損耗
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