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產品特色
超薄無線振動角度監控 , 內建SD卡可離線式記錄量測
可黏貼於晶圓或是FOUP上監控 Process 製程狀態
精密振動角度監控應用
1. 半導體機械手臂晶圓傳送穩定性監控量測。
2. 半導體 OHT 天車狀態分析監控。
3. 無人搬運車 AGV 動態長期監控監控。
4. 半導體設備內部狀態監控。
5. 面板傳送生產設備穩定性監控。
6. FOUP 傳送狀態穩定性分析監控。
7. 工業傳送裝置狀態監控。
8. 輸送帶狀況監控。
可黏貼於晶圓或是FOUP上監控 Process 製程狀態
精密振動角度監控應用
1. 半導體機械手臂晶圓傳送穩定性監控量測。
2. 半導體 OHT 天車狀態分析監控。
3. 無人搬運車 AGV 動態長期監控監控。
4. 半導體設備內部狀態監控。
5. 面板傳送生產設備穩定性監控。
6. FOUP 傳送狀態穩定性分析監控。
7. 工業傳送裝置狀態監控。
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