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產品特色
◼奈米定位平台 N2
大銀微系統-奈米定位平台 N2，榮獲 2023年台灣精品-金質獎肯定，產品提供高剛性結構設計，搭配高響應驅動控制系統，將定位精度提升至奈米級別，並導入智慧模組i4.0GW即時掌握機台狀況，以確保顧客生產排程順利與預排維修計畫，提供穩定的製程品質。在精度與可靠度上，滿足半導體製造產業需求。
四大特性：
➢ 位置穩定度高 ─ 奈米級位置穩定度 ± 2 nm
➢ 速度均勻性佳 ─ 速度鏈波 ± 0.1%@ 100 mm/s
➢ 獨特精度校正技術 ─ AccuPLUS 精度補償技術
➢ 導入智慧型模組iGW ─ 可隨時掌握機台狀況
大銀微系統-奈米定位平台 N2，榮獲 2023年台灣精品-金質獎肯定，產品提供高剛性結構設計，搭配高響應驅動控制系統，將定位精度提升至奈米級別，並導入智慧模組i4.0GW即時掌握機台狀況，以確保顧客生產排程順利與預排維修計畫，提供穩定的製程品質。在精度與可靠度上，滿足半導體製造產業需求。
四大特性：
➢ 位置穩定度高 ─ 奈米級位置穩定度 ± 2 nm
➢ 速度均勻性佳 ─ 速度鏈波 ± 0.1%@ 100 mm/s
➢ 獨特精度校正技術 ─ AccuPLUS 精度補償技術
➢ 導入智慧型模組iGW ─ 可隨時掌握機台狀況
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