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產品特色
憑藉無與倫比的靈活性，輕巧的 NanoCam HD 可以輕鬆地以sub-angstrom level 的重複性和精度進行測量。採用 Dynamic Interferometry和高速光學感測器，測量速度比傳統輪廓儀快數千倍。 由於採集時間很短，NanoCam HD 可以在振動的情況下進行測量，從而實現手持操作，或將儀器安裝在龍門架構或結合機械手臂上或直接安裝在拋光站內部用以監控拋光品質。
NanoCam HD 特性：
1. 便於定位於大型平面上的任何地方
2. 可安裝於產線內或直接與拋光設備整合
3. 方便規劃以矩陣排列的測試樣品
4. 直接定位在大型光學元件上
5. 便攜性和機載整合能力，顯著的減少了大型光學元件的處理和運輸，進而提高了產量，並顯著降低了昂貴的關鍵光學元件損壞的風險。
NanoCam HD 特性：
1. 便於定位於大型平面上的任何地方
2. 可安裝於產線內或直接與拋光設備整合
3. 方便規劃以矩陣排列的測試樣品
4. 直接定位在大型光學元件上
5. 便攜性和機載整合能力，顯著的減少了大型光學元件的處理和運輸，進而提高了產量，並顯著降低了昂貴的關鍵光學元件損壞的風險。
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