致勤系統科技股份有限公司

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致勤系統科技股份有限公司 (Microtai) 由工研院輔導研發全新「MTX IIoT Platform」並升級「MTX Edge AI」邊緣運算智慧解決方案 。專為半導體前段核心製程（黃光、蝕刻、薄膜、擴散）及周邊廠務附屬設備（Dry Pump、Chiller等..）注入AI智慧大腦 ，實時整合壓力與多元感測數據 。系統能隨製程精準調控運轉功率，在不影響良率下達成顯著節能與預測維護，助企業實踐ESG綠色製造 。