志隆國際科技有限公司

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日本三鷹光器公司生產雷射輪廓儀採用點雷射自動聚焦方式(符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理)，雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。 PF-60 屬於基礎研究用掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為60/60/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/60mm，適合各種產業小樣品量測需求。 對於小尺寸陣列樣品量測，例如Micro Lens Array, Pattern Step Height…等，可加購MACRO量測軟體達到自動化量測需求。