Microtai與工研院研發MTX IIoT平台和升級版MTX Edge A協助半導體製造綠色轉型

Microtai亮相工業自動化展！推出工研院指導研發MTX IIoT平台和升級版MTX Edge AI，協助半導體製造綠色轉型

隨著全球半導體產業邁向高階製程並全力衝刺 ESG 淨零碳排，工業自動化與智慧製造的整合已成為企業的核心競爭力。工業自動化領域的創新先鋒——致勤系統科技股份有限公司（Microtai），將於本次工業自動化展盛大參展，並由工研院輔導研發全新「MTX IIOT Platform」並升級 「MTX edge Ai」邊緣運算智慧解決方案 為核心，展示如何運用 AI 技術為半導體前段核心製程及周邊關鍵設備（如乾式真空幫浦 Dry Pump、冰水機 Chiller 等）注入智慧大腦，實現精準的節能與預測維護。

AI 驅動邊緣運算：打破傳統耗能盲點 半導體製造如黃光、蝕刻（Etch）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）及擴散（Diffusion）等製程，對環境穩定度與設備妥善率有著極嚴苛的要求。致勤系統科技（Microtai）憑藉深厚的核心技術，研發出專為工業極端環境設計的 MTX edge 設備。該系統結合高效率的工業通訊協定，能無縫整合機台的壓力曲線、流量及多元感測數據，在設備邊緣端（Edge）進行即時的 AI 數據運算與分析，徹底告別過去傳統設備只能「盲目運轉」的耗能痛點。

綠色製造解方：讓輔助設備隨製程「聰明呼吸」 致勤系統科技表示：「在晶圓廠中，真空幫浦與冰水機等輔助設備往往是耗電大戶。MTX edge 解決方案的最大優勢，在於它能與製程主機台進行智慧連動。當製程處於換片、待機（Idle time）或壓力變動的空檔，AI 系統會自動精準調控真空幫浦與冰水機的運轉功率，在絕對不影響製程良率的前提下，為客戶締造顯著的節能成效，真正實踐綠色工廠的願景。」

國際大廠實績驗證，真實呈現低碳未來 目前，致勤系統科技的智慧節能解決方案已成功進入國際頂尖半導體晶圓代工大廠及一線製造業供應鏈，並進入實地測試與產線驗證階段，展現出極高的系統穩定度與節能回報率（ROI）。

致勤系統科技將於展覽期間，於攤位現場實機展示 MTX edge 邊緣運算硬體系統與直觀的智慧調控介面。我們誠摯邀請各界夥伴與半導體產業先進親臨現場，共同探討如何透過 AI 邊緣技術，為工業自動化注入低碳、智慧的全新動能。