創智先進科技於2026台北國際自動化工業大展展示 Smart Sensing Wafer 智慧晶圓感測器,聚焦半導體晶圓搬送、CoPoS超薄玻璃傳送應用,提供整合振動、水平、溫濕度與應變力..等多項數據量測與監控功能,提供 All-in-One 半導體先進製程搬送監控解決方案。
Smart Sensing Wafer 採用超薄設計,厚度僅3.5mm,可模擬Wafer在Robot、OHT、EFEM 等設備中的傳送運行狀態,可連續使用時間長達16小時。協助設備工程師掌握晶圓或玻璃搬送過程中的振動、水平、應變力與環境變化。透過即時趨勢圖、歷史數據分析、Alarm 警報功能,Smart Sensing Wafer 可協助客戶降低晶圓破片與刮傷風險,並依據振動數據調整合適傳送速度,在設備穩定性與 UPH 產能提升之間取得最佳平衡。產品支援無線資料傳輸或內存紀錄功能,即使於機台內部或無線訊號受限環境,也能完整保存量測資料,並可直接將資料和客戶FDC進行通訊傳輸與結合。
另外本次將展出針對CoPoS最新應用的,玻璃基板傳送技術專用狀態監控感測器,可安裝在0.1~0.3mm的超薄玻璃,能夠進行偵測CoPoS生產線的傳送狀態,確保生產線中的穩定度,避免薄玻璃因為應力而破碎。歡迎各界蒞臨參訪。
創智先進台北自動化展攤位在南港展覽館一館四樓N1221
官方網站: www.tranzx-tech.com
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