無塵室風場難掌控？3D超音波風向風速計助您提升生產良率！

對於半導體產業而言，晶圓製程的每一個環節都伴隨著高昂的成本投入，良率的高低更直接影響了晶圓廠的獲利能力。然而，晶圓製造過程複雜且精密，微小的落塵或不穩定的風場，都可能導致不可逆的損失。
為了提高並維持生產良率，管控無塵室內「氣流」成為重要課題。

▌如何選擇風向風速計？
想要精準掌控風場氣流，選擇一款「高精度、小型化且反應快速」的風速是關鍵。

▎案例分享
 
● 場景應用：半導體無塵室內部氣流監控。

● 用戶回饋：使用了3次元超音波風向風速計後，由於超音波量測不影響無塵室環境，故無需協調停機時間。此外，搭配軟體「可視化」的數據，一旦發現風場問題，能快速確認並避免延誤產能。相較於傳統煙霧測試，整體作業時間節省近50%，不僅提升效率，更進一步改善並穩定良率。

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